首先要知道PECVD( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等離子增強化學氣相沉積，等離子體是物質分子熱運動加劇，相互間的碰撞會導致氣體分子產生電離，物質**會變成自由運動并由相互作用的正離子、電子和中性粒子組成的混合物在石墨舟上的硅片上。

據測算，光在硅表面的反射損失率高達35%左右，減反膜可以極高地提高電池片對太陽光的利用率，有助于提高光生電流密度，進而提高轉換效率，同時薄膜中的氫對于石墨舟上的電池片表面的鈍化降低了發射結的表面復合速率，減小了暗電流，提升了開路電壓，提高了光電轉換效率；在燒穿工藝中的高溫瞬時退火斷裂了一些Si-H、N-H鍵，游離出來的H進一步加強了對電池的鈍化。

由于光伏級硅材料中不可避免的含有大量的雜質和缺陷，導致石墨舟上的硅片中少子壽命及擴散長度降低，從而導致電池的轉換效率下降，H能與硅中的缺陷或雜質進行反應，從而將禁帶中的能帶轉入價帶或者導帶。

PECVD原理

PECVD 系統是一組利用石墨舟和高頻等離子激發器的系列發生器。在低壓和升溫的情況下，等離子發生器直接裝在鍍膜板中間發生反應。所用的活性氣體為硅烷SiH4和氨NH3。這些氣體作用于存儲在石墨舟上的硅片上的氮化硅?？梢愿鶕淖児柰閷Π睔獾谋嚷?，來得到不同的折射指數。在沉積工藝中，伴有大量的氫原子和氫離子的產生，使得晶片的氫鈍化性十分良好。在真空、480攝氏度的環境溫度下，通過對石墨舟的導電，使硅片的表面鍍上一層SixNy。

深圳市石金科技股份有限公司成立于2005年，現在注冊資金4050萬元，公司位于廣東省深圳市寶安區，是專業從事石墨及碳素產品的應用

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（PECVD）用石墨舟及板框、多晶硅鑄錠爐熱場、C/C復合材料和保溫隔熱用石墨氈等產品，并由專業的石墨工程團隊為石墨應用行業及

產品提供相應的應用技術服務及技術更新方案。石金致力于材料技術、應用技術、加工技術的創新，不斷將石墨碳素材料應用拓展到新的

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